تاثیر کاشت یونی ژرمانیم در فرآیند ایجاد اکسید حرارتی سیلیکون

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

نویسنده

گروه مواد هسته ای سازمان انرژی اتمی ایران

چکیده

سرعت اکسید شدن در سیلیکون می تواند در اثر وجود ناخالصی ها تغییر کند.

عنوان مقاله [English]

SILICON STEAM OXIDATION

نویسنده [English]

  • D Fathi